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中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
作者:沃蓝水处理  时间:2016-08-04 07:05:27

指标\级别

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率 MΩ,cm(25℃)

18以上,(95%时间)不低于17

15,(95%时间)不低于13

12.0

0.5

全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

>1μm微粒数,最大值,个/mL

0.1

5

10

500

细菌个数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

铜,最大值,μg/L

0.2

1

2

500

锌,最大值,μg/L

0.2

1

5

500

镍,最大值,μg/L

0.1

1

2

500

钠,最大值,μg/L

0.5

2

5

1000

钾,最大值,μg/L

0.5

2

5

500

氯,最大值,μg/L

1

1

10

1000

硝酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

磷酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

硫酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

总有机酸,最大值,μg/L

20

 

 

 

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