工业超纯水设备是工业中制取纯水或者超纯水的重要设备，它产水的水质比较高。其中工艺的选择和组合是超纯水设备产水的关键，工艺流程如下：
　　1、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象。
　　2、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象。
　　3、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象。
　　4、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象。
　　选择具体的工艺流程要根据用户的实际情况决定的，器工艺流程不同也出水的水质也是不同的