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首页 >行业新闻 >半导体行业用纯水设备的特点半导体行业对纯水设备有着极高的要求,这些要求主要体现在设备的性能、水质纯度、稳定性、自动化程度以及能效等方面。以下是对半导体行业用纯水设备的详细分析:
一、设备构成与工作原理
半导体行业常用的纯水设备通常由预处理系统、反渗透系统和电去离子(EDI)系统构成。
1、预处理系统:主要目的是去除水中的悬浮物、胶体、有机物等杂质,为后续的反渗透和EDI系统提供合格的进水。预处理通常包括多介质过滤器、活性炭过滤器、软化器等。
2、反渗透系统:利用反渗透膜的选择透过性,去除水中的溶解性盐类、有机物、细菌等杂质,得到较为纯净的水。反渗透膜具有高精度、高效率的特点,是制备纯水的重要步骤。
3、电去离子(EDI)系统:在直流电场的作用下,通过隔板的水中电介质离子发生定向移动,利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯。EDI系统无需酸碱再生,具有环保、连续出水、水质稳定等优点,是制备超纯水的关键步骤。
二、水质要求
1、高纯度:要求纯水中的电阻率极高,痕量金属离子浓度、有机物含量和微生物污染极低,以满足半导体生产中的清洗、化学反应和冷却等应用需求。
2、稳定的水质:水质的稳定性对于保证半导体生产的一致性和产品质量至关重要。设备需要能够持续提供符合特定标准的水,避免因水质波动或污染而影响产品质量。
三、应用领域
1、半导体制造:保证芯片质量和性能的关键环节之一
2、平板显示器制造:用于清洗和加工平板显示器部件,保证显示器的质量和性能。
3、光电子器件制造:同样需要高纯度的超纯水进行清洗和加工。
4、此外,在生物医药领域,半导体纯水设备也可用于纯化蛋白质、细胞培养等方面。
综上所述,半导体行业用纯水设备具有高效去离子和脱盐能力、严格的消毒和过滤系统、自动化控制和监测、能源效率和可持续性以及易于维护和清洁等特点和优势。这些设备在半导体制造、平板显示器制造、光电子器件制造等领域发挥着重要作用。